卡爾 •蔡司ORION氦離子顯微鏡堪稱顯微成像領(lǐng)域中的重大突破，它所獲得的圖像具有前所未見的超高分辨率和材料襯度，并具有優(yōu)于五倍的景深。

ORION顯微鏡的基礎(chǔ)是革命性的、原子尺寸的、ALIS氣體場離子源。由單個(gè)原子發(fā)出的，極其明亮的氦離子束客服了衍射和能量擴(kuò)展的限制，正是衍射和能量的擴(kuò)展影響了電子束在掃描電鏡中的應(yīng)用。

這就意味這ORION顯微鏡擁有一個(gè)非常小的束斑用于高分辨率成像。此外，在一個(gè)大大縮小了相互作用區(qū)里，獨(dú)特的氦離子束和樣品的動(dòng)力學(xué)結(jié)果貢獻(xiàn)了更高的分辨率和內(nèi)涵豐富的襯度機(jī)制。

ORION顯微鏡也可以使用背散射氦離子成像，具有很強(qiáng)元素襯度的這種技術(shù)，提供了在樣品表面區(qū)分不同材料的能力。

ORION顯微鏡靈活性高、功能多樣，能夠提供廣泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、電壓襯度、晶體學(xué)、表面和次表面信息，這種技術(shù)的另一個(gè)好處是在絕緣樣品上的卓越性能。

技術(shù)參數(shù)：

分辨率： 0.75nm 45kv工作距離4mm

1.0nm 30kv工作距離4mm

2.5nm 10kv工作距離4mm

放大倍數(shù)： 100x-1，000，000x

視野： 1mm-100nm

離子束： 1PA時(shí)〈1nm

離子束電流1 fA-25pA

離子源： 氦氣體場離子源

壽命〉1000小時(shí)

離子源電動(dòng)對(duì)中

樣品室： 體積400mm3

基體真空度2*10-7Torr

接口板可定制

載物鎖

圖像探測器：Evehart-Thornley二次電子探測器

微通道板(選配)

透射電子探測器(選配)

樣品臺(tái)： 5軸電動(dòng)樣品臺(tái)，X 、Y軸行程50mm，

Z軸行程12mm，360℃旋轉(zhuǎn)，

0℃到45℃傾斜

真空系統(tǒng)： 無油無微粒低真空泵設(shè)計(jì)

磁懸浮渦輪分子泵

攝像機(jī)： 三臺(tái)監(jiān)控?cái)z像機(jī)一離子源觀察

樣品臺(tái)觀察、樣品室觀察

用戶界面： 兩臺(tái)20英寸平板顯示器

圖像2048*2048像素

系統(tǒng)主要參數(shù)存檔功能

主要特點(diǎn)：

一流的材料襯度

超高分辨率

廣泛的分析信息

簡單的樣品制備

離子源工作穩(wěn)定、長壽命